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行業(yè)資訊

藍(lán)寶石拋光用硅溶膠技術(shù)優(yōu)勢(shì)與性能指標(biāo)

來(lái)源:  發(fā)布時(shí)間:2025-07-04 16:07:21   點(diǎn)擊量:

  1. 高去除率與表面質(zhì)量
    • 硅溶膠拋光液可實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石表面材料的高效去除(去除速率達(dá)34.1-41.6nm/min),同時(shí)表面粗糙度低(Ra=1.1-2.3nm),滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶片、光學(xué)元件等高精度加工需求。
    • 粒徑選擇:80nm硅溶膠在表面粗糙度控制上表現(xiàn)(Ra=1.1nm),而110nm硅溶膠去除速率更高(41.6nm/min),需根據(jù)工藝需求權(quán)衡選擇。
  2. 穩(wěn)定性與環(huán)保性
    • 優(yōu)質(zhì)硅溶膠產(chǎn)品(如SD-10050型)具有乳白色外觀、密度1.375-1.396g/cm3、固含量49-51%、氧化鈉含量≤0.5%,可長(zhǎng)期穩(wěn)定儲(chǔ)存,避免沉淀或分層問(wèn)題。
    • 低金屬離子含量(如Na?≤0.5%)有效防止拋光過(guò)程中對(duì)藍(lán)寶石的污染,符合半導(dǎo)體行業(yè)環(huán)保要求。

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